BTMEMS系列MFM的流量测量基础原理为热扩散原理，介质压力和温度变化理论上不影响流量 测量的精度，有利于提高测量精度和可靠性。BTMEMS系列MFM集成了MEMS(微机电系统)、数字信号处理、数值仿真等先进技术。热扩散原理及上述技术的应用保证了MFM的优良性能。其

特点包括:高灵敏度、高可靠性、大量程比、压损小、快速响应、无需预热、优异的零点和温度稳定性、支持小微流量测量等。

BTMEMS系列MFM选用与美国半导体公司合作研发的流量传感元件以及高性能的主控元件，产品生产检验全过程严格执行质量控制，保证产品的精度和长期可靠性。

BTMEMS系列适用于(1)新能源行业的光伏材料工艺设备、锂电材料工艺设备、氢能燃料电池测试设备；(2)半导体行业如半导体集成电路工艺设备、光纤加工设备，包括扩散、氧化、分子束外 延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入、真空镀膜、光纤熔炼等生产工艺设备；(3)生物医药装备如医疗和制药气体设备、实验室微反应装置、气体混合系统。

产品特点：

1.高灵敏度、高可靠性、

2.大量程比、压损小、

3.快速响应、无需预热、优异的零点和温度稳定性、支持小微流量测量等